继回复上交所审核问询，至纯科技(603690)(603690)8月4日晚间公告，公司决定终止向特定对象发行股票，并撤回申请文件。至纯科技表示，考虑当前外部市场环境变化及原募投项目实施进展，公司决定终止本次定增。e公司记者注意到，公司陈述的定增终止原因，与公司回复《问询函》内容存在前后矛盾。

2022年12月11日，至纯科技披露非公开发行募集资金18亿元，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、启东半导体装备产业化基地二期项目和补充流动资金或偿还债务。

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2023年5月22日，至纯科技收到上交所就定增事项出具的《问询函》，要求公司回复本次募投项目必要性等问题；8月1日收盘后，公司披露了《问询函》回复。

问询函中，上交所询问至纯科技前次募投项目尚未实现效益的情况下，实施本次募投项目的必要性及主要考虑，是否涉及重复建设。另外，公司尚未取得募投项目“至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目”与“启东半导体装备产业化基地二期项目”相关土地权证，是否会影响本次项目顺利实施。

至纯科技在回复中指出，本次募投项目与前次募投项目为完全独立，且对效益进行独立核算的项目，项目在生产设备、生产产品、技术路线、生产工艺等方面有所区别，不存在重复建设的情形。

据介绍，前次募投的半导体湿法设备制造项目、半导体湿法清洗设备扩产项目的产品主要为针对28nm及以上成熟制程的槽式与单片式清洗设备产品，公司在收订单金额持续增长，不存在效益不及预期的可能性；而最新的募投项目针对14nm及以下的逻辑芯片、存储芯片的先进制程，国内尚未进入大规模量产，提示募投项目存在难以达到预期经济效益的风险。

就土地权证办理情况，至纯科技指出，单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目、启东半导体装备产业化基地二期项目已取得对应募投项目土地的不动产权证书，而至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目相关土地已完成招拍挂程序、已签署土地出让合同，相关土地权属证书正在办理中。

况且，根据北京经济技术开发区建设局、营商合作局的回复与说明，该项目未取得土地使用权证不影响项目建设工程规划许可证和建筑工程施工许可证的办理，不会影响该项目顺利实施。

至纯科技提示，若未来募投项目用地的不动产权证书因难以预计的原因未能取得，公司本次募投项目可能面临延期或者变更实施地点的风险，从而对募投项目的实施造成不利影响。

随后，至纯科技所提示的风险“迅速”变为现实。

公告显示，8月3日，至纯科技召开了第四届董事会第三十七次会议，董事会同意公司终止向特定对象发行事项并向上交所申请撤回相关申请文件。8月4日收盘，至纯科技股价下跌8.07%，报收28.13元/股。

对于终止原因，至纯科技表示，本次定增募投项目中，部分项目土地权属证书尚未取得，后续证书取得时间目前尚不确定；另外，公司前次募投项目尚未达预期，以及受外部环境影响，管理层综合考虑放缓公司资本性开支规划，计划暂缓实施新募投项目。

由于定增事项已经获公司股东大会授权董事会办理，且该授权尚在有效期内，因此本次定增终止事项无需提交股东大会审议。

市场表现来看，自去年12月推出定增方案以来，至纯科技股价（前复权）累计下跌约22%。

至纯科技表示，目前公司生产经营正常，终止本次定增不会影响公司现有业务的正常经营。

今年一季度，公司实现归属净利润6268万元，同比增长1.86倍。另据公司高管接受机构调研时介绍，公司一季度新增订单21亿元，其中制程设备新增订单2.12亿元。受2022年下半年以来美国制裁影响，晶圆厂投产节奏放缓，公司半导体清洗设备受到一定影响，一季度设备新接订单相比去年有一定下降，但部分客户已重新启动，公司已经进行设备的技术交流与商务洽谈。